<html>
<head>
<title>Film</title>
</head>
<center>
<body btext="#333333" link=#00ffff vlink="red">
<table border align="center" bgcolor="white">
<tr><td>
<font size=5 color="#0066ff">
低速陽電子ビームを用いた金属薄膜の研究
</font>
</td></tr>
</table>
<p><p><p><p>
<hr width="80%">
<font size=7 color="#332222">
こんにちは。<p></font>
</center>
<BLOCKQUOTE><BLOCKQUOTE>
　薄膜材料は、バルク材料にはない電気的、磁気的特性を持ち、さまざまな方面で応用されているとともに、さらに高品質･高信頼性のものが研究され続けている。それはまさに現代のエレクトロニクスの発展を支えている。磁性薄膜、誘電体薄膜、半導体薄膜、超伝導薄膜などが、その例である。これらの作成法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法といったPVD(Physical vapor deposition)や熱CVD、プラズマCVDといったCVD(Chemical vapor deposition)などが用いられる。特に強磁性体金属であるFeを用いた磁性薄膜はさまざまな磁性材料として研究されている。<br>
普通物質中には欠陥と呼ばれるものが多く存在ししている。従来、格子欠陥は”厄介なもの”として認識されてきていたが、半導体の有用な性質は、格子欠陥の存在によるものであり、半導体や高温超伝導などの最先端材料の開発においては”欠陥をどのように導入し、どう制御するか”が重要な問題となっている。<br>
また最近、高温高水素圧下においてFe内に多くの空孔が導入されることが見出されている。<br>
　以上のような背景を元に、本研究では<br>
<ul>
   <li>膜厚、基板温度を制御したFe monolayerを<a href=mbe.html>MBE法</a>によって超高真空下、水素雰囲気下において作成し、<a href=spara.html>欠陥敏感性を有する低速陽電子ビーム</a>を用いて測定し、欠陥サイトから考察を行っている。<p>
   <li>基板温度を制御したFe monolayerを作成し、その内部構造をX線回折、低速陽電子ビームを用いて測定するとともに、欠陥サイトから考察する。
</ul>
ということを目的として、実験を行った。<br>
<p><p><p>
<li><a href="experiment.html">実験方法<br>

</BLOCKQUOTE></BLOCKQUOTE>
<hr width="80%">
<p><p><p><p>
<center>
<a href="../main.html"><img src="../images/backf3.gif" border=0></a><br>
</center>
</body>
</html>